备件号 14300 (5 mm alu) 14304 (pin VCO) 14308 (pin hose) 14312 (cyl. VCO)

高压 bar psi

压强设定 真空计压力值（对大气压）
绝对压强（对大气压）

低压 大气压强（空气）
真空度

气体类型 氦气，纯度100%
合成气体（95%氮气，5%氢气）
10%氦气+90%氮气

總漏率 mbar l/s sccm (ml/min) atm cc/s cm³/h g/a (g/y)

检查